汽車性能的不斷提升得益于汽車電子的不斷發(fā)展,而起核心作用的元件是傳感器。MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子中,如TPMS壓力傳感器、進(jìn)氣歧管壓力傳感器、大氣壓力傳感器、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳感器、安全氣囊用壓力傳感器等。MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器。
近年來(lái),MEMS技術(shù)的發(fā)展為設(shè)計(jì)汽車傳感器提供了新的重要途徑。一些研究人員針對(duì)上述傳統(tǒng)機(jī)油壓力傳感器存在的問(wèn)題,提出一種新型基于MEMS技術(shù)的壓力傳感器,對(duì)壓力敏感頭的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì),開(kāi)發(fā)出精度高、性能可靠的傳感器。壓力敏感頭是機(jī)油壓力傳感器的核心部件,是由MEMS壓力敏感芯片、波紋膜片、陶瓷底座、TO底座、充油腔體及硅油等組成。在壓力敏感頭上裝上信號(hào)調(diào)理電路,并裝配在一個(gè)金屬外殼中,即可構(gòu)成機(jī)油壓力傳感器。
統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,
2018年華北地區(qū)MEMS壓力傳感器市場(chǎng)規(guī)模17.55億元,2021年華北地區(qū)MEMS壓力傳感器市場(chǎng)規(guī)模22.02億元。圖表 2018-2022年3季度華北地區(qū)MEMS壓力傳感器市場(chǎng)規(guī)模